ЛАБОРАТОРИЯ ЭПР-СПЕКТРОСКОПИИ ИМЕНИ Ю.В. ГОРЕЛКИНСКОГО

Руководитель лаборатории: PhD Бейсенов Ренат Елемесович

Научно-исследовательская деятельность

Оборудование

Установка плазмохимического осаждения из паровой фазы, модель AX5200-ECR, производитель Seiki Technotron Corp., Япония

Назначение: синтез полупроводниковых структур методами плазмохимического осаждения

Технические характеристики: рабочие вещества – метан, силан. Микроволновой СВЧ-генератор мощностью 1.5 кВт и частотой 2.54 ГГц. Максимальная температура столика 900°С. Диаметр подложки 5 дюймов. Фоновый вакуум 10-3 Торр.

Установка плазмохимического осаждения из паровой фазы, модель AX5200-ECR, производитель Seiki Technotron Corp., Япония

Зондовый сканирующий микроскоп SOLVER PRO-M, фирма NT- MDT, Зеленоград

Назначение: исследование поверхности твердых тел в воздушной и жидкой средах

Особенности и возможности: микроскоп оснащен двумя сканерами: 6х6 мкм с методом сканирования образцом, и 50х50 мкм с методом сканирования зондом, максимальное разрешение по высоте у обоих сканеров 3 мкм.

Зондовый сканирующий микроскоп SOLVER PRO-M, фирма NT-MDT, Зеленоград

Спектрометр электронного парамагнитного резонанса JES-FA200, производитель JEOL

Назначение: исследование объемных образцов методами ЭПР спектроскопии.

Технические характеристики: измерение в диапазонах ~9.4 GHz (X – Band) и ~35 GHz (Q – Band), стабильность микроволновой частоты ~ 10 - 6 , диапазон выходной мощности от 200 мВт до 0,1 мкВт (63дБ), добротность (Q – фактор) 18 000.

Камера PLD MBE и эксимерный УФ лазер coherent

Камера PLD MBE и эксимерный УФ лазер coherent

Назначение: напыление тонких пленок лазерной абляцией.

Особенности и возможности: напыление тонких пленок твердооксидных электролитов, полупроводников и ферроэлектриков при воздействии импульсным УФ лазером.

Камера PLD MBE и эксимерный УФ лазер coherent

Сканирующий электронный микроскоп «JEOL» JSM-6490LA

Назначение: исследование микроструктуры различных материалов неорганического происхождения, топографический и качественный фазовый анализ поверхности.

Особенности и возможности: предназначенный для получения изображения поверхности объекта с высоким пространственным разрешением, также информации о составе, строении и некоторых других свойствах приповерхностных слоёв. Основан на принципе взаимодействия электронного пучка с исследуемым объектом.

Электронный микроскоп «JEOL» JSM-6490LA